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Jena 2013 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 7: Niedertemperaturplasmen I

Tuesday, February 26, 2013, 16:30–18:40, HS 3

16:30 P 7.1 Invited Talk: Pulsaufgelöste schnelle Messungen der Wachstumsrate in HIPIMS-PlasmenFelix Mitschker, Marina Prenzel, Jan Benedikt, •Christian Maszl und Achim von Keudell
17:00 P 7.2 Electron heating mechanisms in electrically asymmetric capacitive hydrogen/silane discharges - A parameter study — •Sebastian Mohr, Edmund Schüngel, Julian Schulze, and Uwe Czarnetzki
17:15 P 7.3 Einfluss der O2-Konzentration auf den Durchbruch von dielektrisch behinderten Entladungen im gepulsten Betrieb — •Hans Höft, Manfred Kettlitz, Tomas Hoder, Ronny Brandenburg und Klaus-Dieter Weltmann
17:30 P 7.4 The effect of powder formation on the electron dynamics and discharge symmetry in single and dual frequency hydrogen/silane plasmas — •Edmund Schüngel, Sebastian Mohr, Shinya Iwashita, Julian Schulze, and Uwe Czarnetzki
17:45 P 7.5 Optische Charakterisierung einer kombinierten Elektronenstrahl- und Mikrowellenentladung — •Thomas Dandl, Maximilian Grabner, Andreas Himpsl, Jochen Wieser und Andreas Ulrich
18:00 P 7.6 The effect of structured electrodes on the electron heating in capacitively coupled radio frequency plasmas — •Nico Schmidt, Julian Schulze, Edmund Schüngel, Jan Trieschmann, Thomas Mussenbrock, and Uwe Czarnetzki
18:15 P 7.7 Fachvortrag: Mode transitions in low pressure discharges. — •Christian Küllig, Kristian Dittmann, Thomas Wegner, and Jürgen Meichsner
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