Regensburg 2013 – scientific programme

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KR: Fachgruppe Kristallographie

KR 4: Quantitative Materialanalyse (MI jointly with KR)

KR 4.1: Invited Talk

Tuesday, March 12, 2013, 09:30–10:15, H5

Quantitative Röntgenspektrometrie für die Analyse nanostrukturierter Materialien — •Matthias Müller, Burkhard Beckhoff, Philipp Hönicke, Beatrix Pollakowski, Cornelia Streeck und Rainer Unterumsberger — Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestr. 2-12, 10587 Berlin

Die physikalischen und chemischen Eigenschaften nanostrukturierter Materialen bestimmen maßgeblich deren Funktionalität. Für eine zielführende und effektive Materialentwicklung ist es deshalb entscheidend, dass eine zuverlässige Analytik verfügbar ist. Die quantitative Röntgenspektrometrie hat sich für die Materialcharakterisierung als leistungsfähige und zuverlässige Methode etabliert.

Die Nutzung von Röntgenstrahlung geringer Divergenz an Synchrotronstrahlungslaboren hat die Entwicklung der RFA unter streifendem Einfall ermöglicht, wodurch die tiefensensitive Charakterisierung von Nanoschichtsystemen erreicht wurde. Der Einsatz von durchstimmbarer Synchrotronstrahlung hat die Weiterentwicklung von Quantifizierungsmodellen unterstützt, welche auf der Fundamentalparametermethode basieren. Eine weitere deutliche Verbesserung lässt sich durch den Einsatz radiometrisch kalibrierter Instrumentierung erreichen, wodurch eine referenzprobenfreie Quantifizierung erreicht werden kann.

Der Vortrag gibt einen Überblick über die verschiedenen Quantifizierungsmodelle, deren Vor- und Nachteile sowie die Entwicklungsperspektiven. Anhand aktueller Arbeiten der PTB bei BESSY II werden ausgewählte Anwendungsfelder der quantitativen Röntgenspektrometrie für die Entwicklung nanostrukturierter Materialien vorgestellt.