Berlin 2014 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 13: Poster Session - Diagnostics

P 13.11: Poster

Dienstag, 18. März 2014, 16:30–18:30, SPA Foyer

Untersuchung der Plasma-Wand-Wechselwirkung mittels kalorimetrischer und kraftmessender Sonde — •Henning Lange, Thomas Trottenberg und Holger Kersten — Institut für Experimentelle und Angewandte Physik der CAU zu Kiel, Deutschland

Plasmen spielen eine wichtige Rolle bei der Bearbeitung von Oberflächen. Beispiele hierfür sind das Sputtern, die Beschichtung oder die Implantation von Ionen. Für das Verständnis dieser Vorgänge sind die Wechelwirkungsmechanismen des Plasmas mit begrenzenden Oberflächen von Bedeutung. Dazu zählt insbesondere die Ausbildung der Randschicht und Vorschicht. Wie die Randschicht bei Plasmen mit mehreren Ionen-Spezies aufgebaut ist und wie das dazugehörige Bohm-Kriterium aussieht, ist z. B. Gegenstand aktueller Forschung.

Im Rahmen dieser Arbeit werden Messreihen mit verschiedenen Gasen (Ar, Ne, N₂, H₂, …) und Plasmaparametern in einem Niedertemperaturplasma aufgenommen. Mithilfe einer Kraftsonde, die aus einem mechanischen Pendel besteht, wird die Krafteinwirkung gemessen, die das Plasma auf eine Oberfläche ausübt. Gleichzeitig wird mit einer kalorimetrischen Sonde der Energieeintrag auf die Oberfläche experimentell bestimmt.

Die Kombination beider Sonden und Messmethoden zielt darauf ab, ein besseres Verständnis der Plasma-Wand-Wechselwirkungen zu gewinnen.