Berlin 2014 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 13: Poster Session - Diagnostics

P 13.17: Poster

Dienstag, 18. März 2014, 16:30–18:30, SPA Foyer

Metastabilendynamik in HiPIMS-Plasmen — •Alexander Kanitz, Marc Böke, Teresa de los Arcos, Ante Hecimovic und Jörg Winter — Ruhr-Universität Bochum, EP II, 44801 Bochum

Speziell in HPPMS-Plasmen (High Power Pulsed Magnetron Sputtering), die sich durch kurze Pulsdauern von einigen 10 - 100 µ s und hohe Leistungsdichten auszeichnen, sind Metastabile nicht nur während des Plasmapulses, sondern aufgrund ihrer langen Lebensdauer auch im Afterglow eine wichtige Komponente. Sie geben zum einen Aufschluss über die Entladungsdynamik und Gastemperatur, zum anderen sind sie auch ein wichtiger Faktor in Anregungsprozessen. Durch die räumliche Inhomogenität und zeitliche Entwicklung des HPPMS-Plasmas müssen die Metastabilendichten orts- und zeitaufgelöst gemessen werden. Besonders eignen sich dazu Messungen des Absorptionsprofils mit durchstimmbaren Laserdioden. In diesem Fall wird der Übergang der Ar-Metastabilen von 1s₅ und 1s₃ untersucht. Der schmalbandige Laserstrahl wird durch ein strahlaufweitendes Linsensystem geleitet und durchquert dann das Plasma. Das Signal wird hinter dem Plasma mit einem Array von Fotodioden detektiert und erlaubt so gleichzeitige Orts- und Zeitauflösung. Die entwickelte Diagnostik und erste Ergebnisse werden vorgestellt. Gefördert durch die DFG im Rahmen von SFB-TR 87.