Berlin 2014 – wissenschaftliches Programm
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P: Fachverband Plasmaphysik
P 13: Poster Session - Diagnostics
P 13.5: Poster
Dienstag, 18. März 2014, 16:30–18:30, SPA Foyer
Kalorimetrische Sondenmessungen beim Reaktiv-Sputtern von Aluminium und Magnesium — •Fabian Haase1, Lennard Schultz1, Sven Bornholdt1, Maik Fröhlich2 und Holger Kersten1 — 1Institut für Experimentelle und Angewandte Physik der CAU zu Kiel, Deutschland — 2Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V., Greifswald, Deutschland
Aufgrund der hohen Flexibilität von Magnetron-Sputter-Prozessen werden diese in grosser Bandbreite für verschiedene Beschichtungsverfahren eingesetzt. In Hinblick auf die gewünschten Schichteigenschaften ist es essentiell, die Prozessparameter zu kennen und genau einzustellen.
Kalorimetrische Sonden [1] eignen sich besonders zur Diagnostik und Überwachung von Abscheidungsprozessen, da sich mit ihrer Hilfe Informationen sowohl über Teilchen-, als auch über Energieströme gewinnen lassen. Diese haben bekanntermassen einen wesentlichen Einfluss auf die resultierenden Schichteigenschaften [2].
In diesem Beitrag werden Messungen zum Energieeintrag auf ein Substrat und die damit verbundene Temperaturänderung der behandelten Oberfläche beim Reaktiv-Sputtern von Aluminium und Magnesium mittels kalorimetrischer Sonden vorgestellt. Als Reaktivgas wurde Sauerstoff verwendet, dessen Mischungsverhältnis mit dem Prozessgas Argon Einfluss auf die Prozessparameter und somit auf die Eigenschaften der deponierten Schicht besitzt.
Stahl et al., Rev. Sci. Instr., 82, 2010
Thornton, JVST, 12, 1975