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P: Fachverband Plasmaphysik

P 18: Poster Session - Plasma Technology

P 18.3: Poster

Mittwoch, 19. März 2014, 16:30–18:30, SPA Foyer

Machbarkeitsstudie zur PECVD von Parylenschichten — •Erik v. Wahl¹, Maik Fröhlich² und Holger Kersten¹ — ¹Institut für Experimentelle und Angewandte Physik der CAU zu Kiel, Deutschland — ²Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V., Greifswald, Deutschland

Parylene repräsentieren eine Gruppe dielektrischer, hydrophober und transparenter Polymere. Die herausragende thermische und chemische Stabilität eröffnet diesen Beschichtungen ein großes Feld von Einsatzmöglichkeiten. Dünnschichten auf medizinischen Geräten, in der Elektronik, der Luftund Raumfahrt sowie in der Automobilindustrie, aber auch Barriereschichten als Schutz vor Umwelteinflüssen sind bereits weit verbreitet.

Während die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) gut verstanden ist und bereits vielfältig angewendet wird, sind plasmagestützte Verfahren (PECVD) zur Herstellung von Parylen kaum erforscht. In dieser Studie wurde deshalb die Machbarkeit einer PECVD aus dem Precursor Parylen C untersucht. Dazu wurde der Precursor verdampft und mit dem Trägergas Argon direkt in eine asymmetrische RF-Entladung gebracht. Während der Precursor üblicherweise durch Hitze zum hochreaktiven Monomer aufgespalten wird, initiierten im Plasma die "heißen" Elektronen die chemischen Reaktionen.

Die deponierten Polymerschichten wurden mittels Profildickenmessung charakterisiert und das Prozessplasma mithilfe von in-situ Beobachtungen wie dem Verlauf der Biasspannung, der Phase zwischen Strom und Spannung sowie Emissionsspektroskopie untersucht.