Berlin 2014 – scientific programme

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SYOT: Symposium Plasma und Optische Technologien

SYOT 2: Verbund PluTO: Plasma und optische Technologien

SYOT 2.1: Invited Talk

Tuesday, March 18, 2014, 10:40–11:20, SPA Kapelle

Plasma und optische Technologien: PluTO — •Ralf Peter Brinkmann — Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik

Der Erfolg optischer Technologien beruht ganz entscheidend auf der Qualität und Funktionalität der verwendeten optischen Komponenten, speziell deren Oberflächen. Auch in anderen Industrien spielen modifizierte Oberflächen und funktionale Schichten eine große Rolle. Für die Fertigung solcher Schichten sind Plasmaprozesse unverzichtbar. Die plasmagestützte Oberflächenbeschichtung hat in den letzten Jahren starken Schub durch gemeinsame Initiativen aus der Plasmatechnik und der optischen Beschichtungstechnik erfahren, vor allem durch den vom BMBF geförderten Verbund Plasma und optische Technologien (PluTO). Die technischen Möglichkeiten der plasmagestützten Oberflächenbeschichtung sind aber noch lange nicht ausgeschöpft. Um die Ausbeute und Qualität funktionaler Schichten zu steigern und die Streuung ihrer geometrischen und Materialeigenschaften zu vermindern, müssen Stabilität und Reproduzierbarkeit der Abscheideprozesse weiter verbessert werden. Ein Ansatz dazu ist die modellbasierte Kontrolle plasmagestützter Abscheideprozesse. Die dafür nötige in-situ Prozessinformation muss durch eine prozesstaugliche Plasmadiagnostik gewonnen werden. Der Vortrag wird die aktuellen Entwicklungen in diesem Zusammenhang beleuchten.