Berlin 2014 – scientific programme

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SYOT: Symposium Plasma und Optische Technologien

SYOT 2: Verbund PluTO: Plasma und optische Technologien

SYOT 2.4: Invited Talk

Tuesday, March 18, 2014, 12:20–12:50, SPA Kapelle

IBS: Praxis und Modellierung — •Henrik Ehlers — Laser Zentrum Hannover e.V., 30419 Hannover

Das Ionenstrahlzerstäuben (Ion Beam Sputtering, IBS) stellt einen etablierten Prozess zur Herstellung hochkomplexer optischer Präzisionsfilter dar. Aufgrund des separierten Prozesskonzeptes der Ionenerzeugung, der Materialzerstäubung und der Schichtkondensation ist der IBS-Prozess als äußerst stabil bekannt. Als Basis einer notwendigen Prozessoptimierung für aktuelle Herausforderungen der Optischen Dünnschichttechnologie müssen jedoch neue Diagnostik- und Modellierungsansätze das erforderliche Detailverständnis liefern. Ausgehend von messtechnischen Fragestellungen, Simulationen des Sputtervorgangs und einer molekulardynamischen Modellierung des Schichtwachstums werden gegenwärtig neue Lösungskonzepte erarbeitet. Neben den maßgeschneiderten optischen Schichteigenschaften sind eine Steigerung der Beschichtungsraten sowie der homogen beschichtbaren Fläche von entscheidender Bedeutung. Praxisbeispiele zu unterschiedlichen Anwendungsfeldern werden präsentiert.