Berlin 2014 – scientific programme
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SYOT: Symposium Plasma und Optische Technologien
SYOT 2: Verbund PluTO: Plasma und optische Technologien
Tuesday, March 18, 2014, 10:40–12:50, SPA Kapelle
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10:40 | SYOT 2.1 | Invited Talk: Plasma und optische Technologien: PluTO — •Ralf Peter Brinkmann |
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11:20 | SYOT 2.2 | Invited Talk: Charakterisierung von Prozessen zur plasma-ionengestützten Schichtabscheidung — •Jens Harhausen, Rüdiger Foest, Detlef Loffhagen und Andreas Ohl |
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11:50 | SYOT 2.3 | Invited Talk: Plasma-ionengestützte Abscheidung von Hafnium- und Tantaloxidschichten unter Nutzung von Xenon und Argon als Arbeitsgas — •Olaf Stenzel, Steffen Wilbrandt, Ralph Schlegel und Norbert Kaiser |
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12:20 | SYOT 2.4 | Invited Talk: IBS: Praxis und Modellierung — •Henrik Ehlers |