Berlin 2014 – scientific programme

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SYOT: Symposium Plasma und Optische Technologien

SYOT 3: SFB zu Plasma und Optische Technologien

Tuesday, March 18, 2014, 14:00–16:30, SPA Kapelle

	14:00	SYOT 3.1	Invited Talk: Plasmaabscheidung nanostrukturierter Barriereschichten auf Kunststoffen - Bedeutung grenzflächenchemischer Aspekte — Berkem Ozkaya und •Guido Grundmeier
	14:30	SYOT 3.2	Invited Talk: From target to substrate in high power pulsed magnetron plasmas — •Achim von Keudell
	15:00	SYOT 3.3	Invited Talk: Planare Optronische Systeme - Konzept, Umsetzung und erste Ergebnisse — •Ludger Overmeyer
	15:30	SYOT 3.4	Invited Talk: SFB TR 123 Planare optronische Systeme (PlanOS) — •Hans Zappe
	16:00	SYOT 3.5	Invited Talk: Influence of the oxygen plasma parameters on the atomic layer deposition of titanium oxide — •Adriana Szeghalmi, Stephan Ratzsch, and Ernst Bernhard Kley