Dresden 2014 – scientific programme

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DS: Fachverband Dünne Schichten

DS 35: Poster I: Application of thin films; Focus session: Sensoric micro and nano-systems; Focus Session: Sustainable photovoltaics with earth abundant materials; Graphen (joint session with TT; MA; HL; DY; O); Ion and electron beam induced processes; Layer properties: electrical, optical, and mechanical properties; Magnetic/organic interfaces, spins in organics and molecular magnetism; Micro- and nanopatterning (jointly with O); Organic electronics and photovoltaics (jointly with CPP, HL, O); Thermoelectric materials

DS 35.68: Poster

Wednesday, April 2, 2014, 17:00–20:00, P1

Bor-dotierte nanokristalline Diamantschichten für thermoelektrische Anwendungen — •Regina Berendakova, Nicolas Wöhrl und Volker Buck — Universität Duisburg-Essen und CENIDE, Fakultät für Physik, Lotharstr. 1, 47057 Duisburg, Deutschland.

Nanokristalline Diamantschichten werden durch Mikrowellenplasma unterstützte CVD aus einem Ar/H₂/CH₄ Plasma mit Zusatz von Trialkylboran B(C₃H₇)₃ p-dotiert erzeugt. In vorhergehenden Arbeiten wurde gezeigt, dass sich Bor-dotierte Nanodiamantschichten gut für thermoelektrische Anwendungen eignen. Dabei wurde eine thermische Leitfähigkeit niedriger als 10 W/mK und ein Seebeck-Koeffizient höher als 200 µV/K erreicht. Das Ziel der vorliegenden Arbeit ist die unabhängige Variation von Kristallitgröße (entscheidend für die thermische Leitfähigkeit) und Dotierstoffkonzentration (entscheidend für elektrische Leitfähigkeit).