Berlin 2015 – wissenschaftliches Programm
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MI: Fachverband Mikrosonden
MI 7: X-ray Imaging, Tomography and X-ray Optics
MI 7.5: Vortrag
Mittwoch, 18. März 2015, 10:30–10:45, EMH 225
Refraktive Röntgenlinsen aus Lamellen konstanter Dicke — •Jens Patommel1, Frank Seiboth1, Maria Scholz1, 2, Robert Hoppe1, Felix Wittwer1, Juliane Reinhardt1, 2, Jens Seidel3, Martin Knaut4, Andreas Jahn4, Karola Richter4, Johann W. Bartha4, Gerald Falkenberg2 und Christian G. Schroer2, 5 — 1Institut für Strukturphysik, Technische Universität Dresden, 01062 Dresden — 2Deutsches Elektronen-Synchrotron DESY, 22607 Hamburg — 3Fakultät für Mathematik, Technische Universität Chemnitz, 09107 Chemnitz — 4Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, Technische Universität Dresden, 01062 Dresden — 5Fachbereich Physik, Universität Hamburg, Luruper Chaussee 149, 22761 Hamburg
Herkömmmliche refraktive Röntgenlinsen bestehen aus Silizium, weil für röntgenoptisch besser geeignete Materialien wie Diamant oder Saphir keine geeigneten Ätzprozesse für die Mikrostrukturierung zur Verfügung stehen. Wir präsentieren ein Linsendesign, das es gestattet, die Linsen mittels Abscheidungsverfahren wie z.B ALD herzustellen, wodurch das Verwenden anderer Materialien als Silizium möglich wird. Diese sogenannten refraktiven lamellaren Linsen (RLL) bestehen aus einem Stapel von Lamellen konstanter Dicke, die derart gekrümmt sind, dass sie in der Projektion entlang der optischen Achse eine Parabelform ergeben und somit einer Sammellinse entsprechen. Simulationen und erste Experimente mit diesen Linsen aus Saphir haben gezeigt, dass sie kleinere Fokusse mit höherem Fluss als herkömmliche Siliziumlinsen erzeugen können.