Bochum 2015 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 14: Poster Session - Theory and Modelling

P 14.10: Poster

Dienstag, 3. März 2015, 16:30–18:30, Foyer Audimax

Modellierung von Atmosphärendruck-Plasmaprozessen für die Abscheidung dünner Schichten — •Martina Leins¹, Sandra Gaiser¹, Jens Philipp², Claus-Peter Klages², Markus Becker³, Rüdiger Foest³, Detlef Loffhagen³, Gerrit Mäder⁴, Julius Roch⁴, Eckhard Beyer⁴ und Thomas Hirth¹ — ¹Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie der Universität Stuttgart — ²Institut für Oberflächentechnik der Technischen Universität Braunschweig — ³Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e. V. in Greifswald — ⁴Institut für Laser- und Oberflächentechnik der Technischen Universität Dresden

Atmosphärendruck-Plasmaprozesse gewinnen zunehmend bei der Abscheidung dünner Schichten an Bedeutung, da sie einige Vorteile wie die Vermeidung von aufwändiger Vakuumausrüstung bieten. Allerdings müssen, um eine erfolgreiche Einführung dieser Prozesse in die industrielle Fertigung zu ermöglichen, noch einige Herausforderungen bewältigt werden. Hier wäre beispielsweise die geringe Ressourcenausnutzung zu nennen. Der AiF/DFG-Cluster „Optimierung der Gasausnutzung bei Atmosphärendruck-Plasmaprozessen OGAPlas” befasst sich mit dieser Problemstellung.
Um eine bessere Ausnutzung der Ressourcen zu erzielen, ist ein genaues Verständnis der Prozesse – insbesondere des Plasmas, des Gasmanagements und der Schichtbildung selbst – notwendig. Die Modellierung dieser Prozesse gibt darüber Aufschluss. Der Beitrag gibt einen Überblick über diese Arbeiten und deren Ergebnisse.