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P: Fachverband Plasmaphysik

P 17: Poster Session - Plasma Technology

P 17.4: Poster

Dienstag, 3. März 2015, 16:30–18:30, Foyer Audimax

Auswahl von Dielektrika für Plasmamedizinische Anwendungen — •Jan-Simon Baudler — INP Greifswald, Deutschland

Die Entwicklung von Plasmaquellen für medizinische Anwendungen bringt aufgrund von Zulassungsregularien Anforderungen mit sich, welche im konventionellen Quellenbau nicht existieren.

Vorteilhaft für die Zulassung einer solchen Quelle ist es, wenn das Plasma bei vergleichsweise niedrigen Spannungen zündet und die Quelle möglichst gute Isolationseigenschaften zeigt. Hinzu kommt, dass bei der Zündung keine schädlichen Inhaltsstoffe freigesetzt werden dürfen. Diese Eigenschaften sind üblicherweise alle gegenläufig und werden zu einem großen Teil vom Dielektrikum bestimmt.

In dieser Arbeit wurde daher versucht, ein geeignetes Dielektrikum für die medizinische Anwendung zu finden. Für eine Vorauswahl wurden Kapazitätsmessungen und Isolationsprüfungen vorgenommen. Die Zündeigenschaften der Quellen wurden zudem in Form von Resonanzfrequenz, Zündspannung und Leistungseinkopplung vermessen. Es zeigte sich schnell, dass die Klasse der Fluoropolymere hier dem Optimum am nächsten kommt. Fluoropolymere setzen allerdings im Kontakt mit Plasma giftiges Fluor frei. Dies wurde für die verschiedenen Polymere und Spannungen mittels VUV-Spektroskopie relativ quantifiziert. In der Folge wurden verschiedene Ansätze verfolgt, um der Emission entgegenzuwirken. Nachdem erste Versuche mit einer Defluorisation der Oberfläche schon positive Ergebnisse lieferten, zeigte sich zudem, dass auch hier eine Optimierung der Betriebsparameter den gewünschten Erfolg verspricht.