Bochum 2015 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 24: Theory and Modelling III

P 24.3: Talk

Thursday, March 5, 2015, 11:10–11:25, HZO 50

Das elektrische Feld in kapazitiv gekoppelten HF-Plasmen: Eine Erweiterung der Advanced Algebraic Approximation — •Ralf Peter Brinkmannn — Theoretische Elektrotechnik, Ruhr-Universität Bochum

Das elektromagnetische Feld ist eine zentrale Größe in der Dynamik hochfrequenzgekoppelter Plasmen. Auf fundamentaler Ebene ist es als Lösung der Maxwell-Gleichungen durch die im Plasma vorhandenen Ladungen und Ströme sowie die externen Randbedingungen bestimmt. Allerdings macht das Selbstkonsistenz-Problem -- bewirkt durch die Kopplung der Felder an die Bewegungsgleichungen -- die konkrete Berechnung oft schwierig. Dieser Beitrag analysiert das dynamische elektrische Feld in einem planarer kapazitiv gekoppelten Reaktor (CCP) unter der Annahme, dass die angelegte Hochfrequenz zwischen der Plasmafrequenz der Ionen und der Elektronen liegt, und die Debye-Länge kleiner ist als die Skalenlänge des Plasmas. Als Resultat ergibt sich eine Erweiterung der bislang nur für statiche Fälle verfügbaren "Advanced Algebraic Approximation". Der Vergleich mit numerisch berechneten exakten Lösungen fällt zufriedenstellen aus.