Bochum 2015 – wissenschaftliches Programm
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P: Fachverband Plasmaphysik
P 26: Plasma Technology III
P 26.6: Vortrag
Donnerstag, 5. März 2015, 15:15–15:30, HZO 50
Numerische Analyse der Ausbreitung von Mikrowellen in einem Plasma — •Daniel Szeremley1, Thomas Mussenbrock1, Ralf Peter Brinkmann1, Marc Zimmermanns2, Ilona Rolfes2 und Denis Eremin1 — 1Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, Ruhr - Universität Bochum, D-44780 Bochum, Deutschland — 2Lehrstuhl Hochfrequenzsysteme, Ruhr - Universität Bochum, D-44780 Bochum, Deutschland
Auf Grund ihrer besonderen Eigenschaften sind Mikrowellenentladungen ein wichtiges Werkzeug für die Beschichtungstechnik. Insbesondere die Möglichkeit, durch eine zusätzliche Bias-Spannung Ionen-Energieverteilungsfunktionen vor Substraten über einen großen Bereich nahezu frei einstellen zu können, macht diese Entladungen zu leistungsstarken Werkzeugen zur Abscheidung nanostrukturierter Funktionsschichten. Eine weitreichende Analyse der Moden und Ausbreitungseigenschaften elektromagnetischer Wellen in einem Plasma entlang einer Antenne ist von besonderem Interesse. Diese Informationen sind notwendig, um einen Plasmareaktor den Ansprüchen der jeweiligen Anwendung optimal anpassen zu können. In diesem Beitrag werden numerische Simulationsergebnisse einer Mikrowellenentladung entlang der Plasmaline präsentiert werden. Im Mittelpunkt steht dabei die Charakterisierung der Moden, die sich entlang der Antenne ausbreiten können.
Die Autoren danken der Förderung durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft im Rahmen des SFB-TR 87.