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P: Fachverband Plasmaphysik

P 6: Poster Session - Diagnostics

P 6.1: Poster

Montag, 2. März 2015, 16:30–18:30, Foyer Audimax

Infrarot-Absorptionsspektroskopie-Messungen an einem Atmosphärendruck-Plasmajet — •Thorben Kewitz und Holger Kersten — Institut für Experimentelle und Angewandte Physik der CAU zu Kiel, Deutschland

Zur Untersuchung der Schichtabscheidung und Partikelbildung werden absorptionsspektroskopische Messungen im infraroten Wellenlängenbereich an einem kommerzieller Atmosphärendruck-Plasmajets (Plasmatreat GmbH) vorgestellt. Durch Messungen mit einem Quantenkaskadenlaser [1] wird die Konzentration von Acetylen im Effluenten des Plasmajets bestimmt.

Der verwendete Plasmajet soll insbesondere zur Abscheidung von multifunktionellen a-C:H Schichten eingesetzt werden. Acetylen ist dabei ein Zwischenprodukt der Reaktionen von verschiedenen Präkursoren im Effluenten des Plasmajets.

Exemplarisch wird in den gezeigten Experimenten nur Acetylen als Präkursor verwendet. Der Verbrauch des Ausgangsmaterials durch Fragmentierung und folgender Deposition bzw. die Partikelbildung im Effluenten kann über die Absorptionsintensität verfolgt werden. In Abhängigkeit von den experimentellen Bedingungen (Präkursorkonzentration, Gasfluss, Leistung) ändert sich die C2H2-Konzentration. Dieses Verhalten wird (qualitativ) in einem Modell erklärt.

In einem weiteren Schritt soll diese Diagnostik bei anderen Präkursoren, z.B. Cyclopentanol, angewendet werden und so zur Analyse der Fragmentationsprozesse beitragen.

[1] J. Röpcke et al., Plasma Sources Sci. Technol. 15 (2006)