Bochum 2015 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 7: Poster Session - Dusty Plasmas

P 7.6: Poster

Monday, March 2, 2015, 16:30–18:30, Foyer Audimax

Optische Emissionsspektroskopie am partikelbildenden Plasma — •Erik von Wahl¹, Safa Labidi², Jean François Lagrange², Maxime Mikikian², Titaïna Gibert² und Holger Kersten¹ — ¹Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, CAU Kiel — ²GREMI, Groupe de Recherches sur l’Energétique des Milieux Ionisés, CNRS/Université d’Orléans

Mithilfe der optischen Emissionsspektroskopie können molekulare und atomare Spezies eines Plasmas in-situ nachgewiesen werden. Dies ist insbesondere zur Erforschung von Partikelerzeugung und -wachstum von Interesse, wo chemische Prozesse während der Polymerisation eine große Rolle spielen.

In dieser Studie wurde ein precursorhaltiges Plasma in einer RF-Parallelplattenentladung orts- und zeitaufgelöst spektroskopisch untersucht. Der Reaktor wurde im Push-Pull-Modus bei 1,2 bis 2,0 mbar in Argon betrieben. Der Precursor gelangt durch Zerstäubung von Melaminformaldehyd in die Gasphase, wo er Staub bildet und durch einen Laser sichtbar gemacht wird.

Vom Zünden des Plasmas über das Erscheinen der Partikel im Laserstrahl bis zu ihrem Verschwinden wurden in einem vertikalen Schnitt durch die Entladung die Intensitäten emittierten Lichtes der Moleküle CN, C₂, CH, CO und Ar aufgezeichnet. Das örtliche und zeitliche Verhalten dieser Spektrallinien gestattet Rückschlüsse auf die Konzentration der jeweiligen Spezies und auf die Elektronentemperatur des Plasmas.