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SYLT: Symposium Aktuelle Entwicklungen in der Lasertechnik

SYLT 3: Lasersysteme und Anwendungen III

SYLT 3.2: Hauptvortrag

Mittwoch, 4. März 2015, 14:00–14:30, HZO 80

Wellenfront-Messtechnik zur Charakterisierung von Optiken und Laserstrahlung — •Klaus Mann — Laser-Laboratorium Goettingen e.V., Hans-Adolf-Krebs-Weg 1, D-37077 Goettingen

Strahlprofil, Wellenfront und Kohärenz besitzen entscheidenden Einfluss auf die Propagationseigenschaften und die Fokussierbarkeit von Laserstrahlen. Dabei wird die Wellenfront ganz erheblich durch die Qualität der Strahlführungs- und Fokussierungsoptiken bestimmt. Zusätzlich zu statischen Aberrationen der optischen Komponenten, hervorgerufen durch Abweichungen von der Idealform oder Fehljustage, kann die Strahlpropagation auch durch transiente, thermisch induzierte Wellenfrontverzerrungen negativ beeinflusst werden, die der Laserstrahl selbst generiert. Diesem Effekt der thermischen Linse liegt die Absorption optischer Materialien zugrunde, die eine lokale Änderung des Brechungsindex únd der Oberflächenform bewirkt. Daher ist eine genaue Kenntnis der Wellenfront Voraussetzung für ein optimales Bearbeitungsergebnis beim Einsatz von Hochleistungslasern. Umgekehrt lässt sich der Effekt der thermischen Linse aber auch zur Bestimmung der Absorption optischer Materialien verwenden. Entsprechende auf Wellenfrontmessungen basierende photothermische Messsysteme wurden im Laser-Laboratorium Göttingen entwickelt und in die optische Industrie überführt. Dort werden sie z.B. zur Qualitätssicherung von Optiken für die Halbleiterlithografie eingesetzt. Neben Ergebnissen zu den Absorptionseigenschaften optischer Materialien bei verschiedenen Wellenlängen werden auch Untersuchungen zur passiven Kompensation thermischer Linseneffekte in Hochleistungsoptiken vorgestellt.