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SYOT: Symposium Plasma und Optische Technologien

SYOT 1: Plasma und Optische Technologien I

SYOT 1.3: Hauptvortrag

Dienstag, 3. März 2015, 12:00–12:40, HZO 80

Pluto Plus: Erhöhung der Qualität und Ausbeute optischer Beschichtungstechnologien — •Harro Hagedorn — Bühler, Alzenau, Siemensstarsse 88

Für die Abscheidung optischer Schichten, die höchsten Qualitätsansprüchen genügen, sind Plasmaprozesse unverzichtbar. Der Modifikation der Schichteigenschaften durch das Plasma ist essentiell, gleichwohl begrenzen die räumlichen und zeitlichen Fluktuationen die Präzision mit der heute Schichtsysteme abgeschieden werden können. PLUTO+ ist eine BMBF gefördertes Verbundprojekt in dem In-situ Erfassung von Plasmakenngrößen zur aktiven Regelung von Plasmaprozessen erforscht werden. 18 Projektpartner untersuchen den Einfluss zukünftiger direkter Regelungsmöglichkeiten auf die Schichteigenschaften. Die Bandbreite der Abscheideverfahren umfasst Plasma unterstützten Aufdampfverfahren (PIAD), Ionenstrahlsputterverfahren (IBS) und Plasma unterstützte Gasphasenabscheidungen (PECVD).