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SYOT: Symposium Plasma und Optische Technologien
SYOT 1: Plasma und Optische Technologien I
SYOT 1.3: Invited Talk
Tuesday, March 3, 2015, 12:00–12:40, HZO 80
Pluto Plus: Erhöhung der Qualität und Ausbeute optischer Beschichtungstechnologien — •Harro Hagedorn — Bühler, Alzenau, Siemensstarsse 88
Für die Abscheidung optischer Schichten, die höchsten Qualitätsansprüchen genügen, sind Plasmaprozesse unverzichtbar. Der Modifikation der Schichteigenschaften durch das Plasma ist essentiell, gleichwohl begrenzen die räumlichen und zeitlichen Fluktuationen die Präzision mit der heute Schichtsysteme abgeschieden werden können. PLUTO+ ist eine BMBF gefördertes Verbundprojekt in dem In-situ Erfassung von Plasmakenngrößen zur aktiven Regelung von Plasmaprozessen erforscht werden. 18 Projektpartner untersuchen den Einfluss zukünftiger direkter Regelungsmöglichkeiten auf die Schichteigenschaften. Die Bandbreite der Abscheideverfahren umfasst Plasma unterstützten Aufdampfverfahren (PIAD), Ionenstrahlsputterverfahren (IBS) und Plasma unterstützte Gasphasenabscheidungen (PECVD).