Bochum 2015 – scientific programme

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SYOT: Symposium Plasma und Optische Technologien

SYOT 2: Plasma und Optische Technologien II

SYOT 2.5: Invited Talk

Tuesday, March 3, 2015, 16:30–17:00, HZO 80

Prozessüberwachung und Prozessregelung auf Basis der Multipolresonanzsonde — •Ralf Peter Brinkmann — Ruhr-Universität Bochum

Das Anliegen des BMBF-Verbundprojekts PluTO+ ist die Erhöhung der Qualität und Ausbeute plasmagestützter Beschichtungsverfahren. Das gesetzte Ziel kann ohne eine robuste, prozesstaugliche Plasma-diagnostik nicht erreicht werden: Grundlage aller Konzepte zur Überwachung und -regelung von Plasmaprozessen ist die Fähigkeit zur in-situ-Ermittlung des aktuellen Status der jeweiligen Anlagen.

Ein Kandidat für eine solche Diagnostik ist die Multipolresonanzsonde (MRP). Die MRP ist eine im BMBF-Projekt PluTO entworfene und als Demonstrator realisierte optimierte Variante des Konzepts der aktiven Plasmaresonanzspektroskopie: Mittels einer elektrischen Sonde wird ein Hochfrequenzsignal im GHz-Bereich in das Plasma eingekoppelt. Die Auswertung der spektralen Antwort mit Hilfe eines mathematischen Modells erlaubt dann Rückschluss auf Parameter wie die Plasmadichte und die Elektronentemperatur. Im Fokus dieses Vortrages stehen aktuelle neuere Ergebnisse dieses Vorhabens. Zum einen wird über die Weiterentwicklung der MRP in Richtung eines ortsauflösenden Plasma-Diagnostiksystems berichtet, zum zweiten über die in Richtung eines Monitors für die in-situ-Überwachung von Plasmaprozessen in der Produktion. Anwendungen beider Systeme in der Praxis werden ausführlich dargestellt.