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K: Fachverband Kurzzeitphysik
K 4: Poster
K 4.7: Poster
Dienstag, 1. März 2016, 16:30–19:00, Empore Lichthof
Einzelpulsabtrag von Metallschichten mit ultrakurzen Laserpulsen unterschiedlicher Pulsdauer — •Peter Lickschat, Jörg Schille, Markus Olbrich, Lutz Schneider, Alexander Horn und Steffen Weißmantel — Laserinstitut Hochschule Mittweida, Technikumplatz 17, D-09648 Mittweida
Grundlagenuntersuchungen zum Abtragprozess mittels ultrakurzer Laserpulse werden präsentiert. Bei den Untersuchungen wurden Einzelpulsabträge auf Platin-, Aluminium- bzw. Goldschichten realisiert, um Abhängigkeiten des Abtrages von der Fluenz und der Pulsdauer aufzuzeigen. Die Pulsdauer wurde im Bereich von 200 fs bis 10 ps und die Fluenz der Laserpulse von 0,8 J/cm2 bis 15 J/cm2 variiert. Zum Vergleich und zur Interpretation der Ergebnisse wurden der Ablationsdurchmesser, die Ablationstiefe und das ablatierte Volumen bestimmt. Dabei zeigte sich, dass in Abhängigkeit von der Pulsdauer bei gleicher Fluenz sich sowohl der Ablationsdurchmesser als auch die Ablationstiefe und damit verbunden auch das pro Laserpuls ablatierte Volumen ändern. Die Änderung der unterschiedlichen Ablationskenngrößen ist dabei stark materialabhängig. Die höchste Effizienz (abgetragenes Volumen pro mittlerer Leistung) des Abtragsprozesses wird bei den untersuchten Materialien in unterschiedlichen Parameterfenstern erreicht.