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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 5: Laser Applications and Laser Matter Processing II

K 5.2: Vortrag

Mittwoch, 2. März 2016, 11:40–12:00, f428

Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels
Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedlicher Wellenlängen — •Andy Engel, Manuel Pfeiffer und Steffen Weißmantel — Hochschule Mittweida, University of Applied Sciences, Technikumplatz 17, 09648 Mittweida, Germany

Es werden Ergebnisse der Untersuchungen zur Mikrostrukturierung
von hochreinem Quarzglas (Corning 7980 HPFS) durch Bestrahlung mittels Ultrakurzpuls-Laserstrahlung unterschiedlicher
Wellenlängen präsentiert. Für die Untersuchungen wurde eine
Femtosekundenlaseranlage mit einem integrierten Pharos
FS-Lasersystem 15-1000-PP (Wellenlänge 1028 nm, 514 nm bzw. 257 nm, Repetitionsrate 200 kHz, Pulsdauer < 290 fs) genutzt. Ziel der durchgeführten Untersuchungen war die Bestimmung
grundlegender Abtragsparameter (z.B. Abtragsvolumen und
Abtragsraten) der eingebrachten Mikrostrukturen in Abhängigkeit von den applizierten Laserstrahl- und Prozessparametern (Wellenlänge, Fluenz und Pulsanzahl). Auf Grundlage der durchgeführten Abtragsuntersuchungen (Pulsabträge) erfolgte die Bestimmung der Schwellfluenzwerte der Mikrostrukturierung für die unterschiedlichen verwendeten Wellenlängen und Pulsanzahlen.