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P: Fachverband Plasmaphysik

P 10: Poster Session- Dusty Plasmas

P 10.3: Poster

Dienstag, 1. März 2016, 16:30–19:00, Empore Lichthof

Einbringung und Untersuchung von Nanopartikeln in RF-Entladungen — •Harald Krüger, Carsten Killer und André Melzer — Institut für Physik, Ernst-Moritz-Arndt Universität Greifswald

Nanoskalige Staubpartikel aus Aluminiumoxid (Al₂O₃) können in RF-Entladungen ladungsabhängige Resonanzen in der Mie-Streuung aufweisen [1]. Das Einbringen von Staub im Submikrometerbereich in die RF-Entladung stellt dabei aufgrund der Verklumpung der Partikel und der geringen Masse der einzelnen Partikel eine Herausforderung dar. Hierzu wurde eine Methode entwickelt, bei der der Staub durch eine externe Zuführung mit kontrollierten Gasstößen durch eine Düse in die Entladung eingebracht wird. Dies ermöglicht einerseits die Zerstäubung größerer Klumpen und verhindert andererseits das direkte Absaugen des feinen Staubpulvers aus herkömmlichen Dispensoren.

Zur späteren Untersuchung der Teilchenladung wird zunächst die Größenverteilung der verwendeten polydispersen Staubpartikel untersucht. Anhand der charakteristischen Winkelabhängigkeit der Mie-Streuung wird die Größe der Partikel des Systems bestimmt [2].

[1] R. L. Heinisch, F.X. Bronold and H. Fehske, Phys. Rev. Lett. 109, 243903 (2012)

[2] C. Killer, M. Mulsow and A. Melzer, Plasma Sources Sci. Technol. 24 (2015) 025029