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P: Fachverband Plasmaphysik

P 18: Poster Session- Plasma Technology

P 18.1: Poster

Mittwoch, 2. März 2016, 16:30–19:00, Empore Lichthof

Energieaufgelöste Massenspektrometrie an prekursor-haltigen Prozessplasmen — •Nils Lukat, Erik von Wahl und Holger Kersten — Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Deutschland

Mit Hilfe der energieaufgelösten Massenspektrometrie ist es möglich Informationen über die im Plasma erzeugten Ionen zu erhalten. Die Massenspektrometrie ist von besonderer Bedeutung, wenn Plasmen untersucht werden, in denen sich komplexe Moleküle befinden, wie dies z.B. bei der Abscheidung von Polymerschichten auf Substraten der Fall ist. Durch Kollisionen mit energetischen Elektronen wird ein Teil dieser Moleküle im Plasma dissoziiert. Abhängig von den Plasmaparametern können so Produkte auf unterschiedlichsten Reaktionswegen entstehen. Insbesondere die relativen Häufigkeiten dieser Ionen zu den Ionen des Hintergrundgases sind nur schwer vorauszusagen und oft nur experimentell zu bestimmen. Um die relevanten Parameter für einen solchen Beschichtungsprozess zu bestimmen, wird in dieser Arbeit ein Massenspektrometer zur Messung der Ionenparameter eingesetzt. Dabei werden dem Trägergas Argon Dichloro-[2,2]-Paracyclophan Moleküle beigemischt, welche als Ausgangsstoff für Parylene C Schichten dienen. Um diese Messungen zu ermöglichen, muss das Massenspektrometer kalibriert werden. Dabei ist darauf zu achten, dass es unabhängig von den Parametern der zu detektierenden Ionen vergleichbare Energie und Massenspektren liefert. Ziel dieser massenspektrometrischen Untersuchung ist die Aufklärung der chemischen Reaktionen, die im Plasma ablaufen und deren Korrelation zu den Kenngrößen der HF-Entladung.