Hannover 2016 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 20: Poster Session- Low Temperature Plasmas

P 20.9: Poster

Wednesday, March 2, 2016, 16:30–19:00, Empore Lichthof

Untersuchung eines RF-Plasmajets mittels sich ergänzender Modelle — •F. Sigeneger, J. Schäfer, R. Foest und D. Loffhagen — INP Greifswald, Felix-Hausdorff-Str. 2, 17489 Greifswald

Ein nichtthermischer Plasmajet wird durch Kombination dreier Modelle untersucht. Der Jet besteht aus zwei konzentrischen Kapillaren und zwei ringförmigen Elektroden, die die äußere Kapillare umschließen und die RF-Leistung bei 27.12 MHz dem Argonplasma zuführen.

Untersuchungen eines einzelnen Filamentes im aktiven Volumen zwischen den beiden Kapillaren mit Hilfe eines zweidimensionalen phasenaufgelösten axialsymmetrischen Plasma-Fluidmodells liefern räumliche Strukturen des Filaments und Teilchendichten in guter Übereinstimmung mit Messungen. Das daraus ermittelte Heizungsprofil wird in einer Gesamtbeschreibung des Jets einschließlich des Gasflusses und der Reaktionen von Präkursormolekülen sowie deren Transportprozesse im Effluenten verwendet. Die erhaltenen Radialprofile der Teilchenflüsse von Präkursorfragmenten auf ein Substrat stimmen qualitativ mit gemessenen Dicken von abgeschiedenen Schichten überein.

Das dritte Modell widmet sich den beobachteten Erscheinungen von Selbstorganisation, die sich u. a. in einer azimutalen Rotation der Filamente äußert. Hierfür wird mit Hilfe des Heizungsprofils in einem dreidimensionalen Strömungsmodell der Zusammenhang zwischen der Schrägstellung der Filamente und der azimutalen Strömungskomponente nachgewiesen. Parametervariationen bestätigen experimentell gefundene Tendenzen.

Die Arbeit wird durch die DFG im SFB TRR 24 unterstützt.