Hannover 2016 – wissenschaftliches Programm
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P: Fachverband Plasmaphysik
P 24: Low Temperature Plasmas II
P 24.5: Vortrag
Donnerstag, 3. März 2016, 15:55–16:10, b305
Einfluss verschiedener Gefäßmaterialien auf Dissoziationsgrad und Rotationsbesetzung molekularen Wasserstoffs in einem ICP. — •David Rauner1,2, Stefan Briefi1 und Ursel Fantz1,2 — 1AG Experimentelle Plasmaphysik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg — 2Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstr. 2, 85748 Garching
Die Wechselwirkung von Plasmen mit Oberflächen kann wesentlichen Einfluss auf eine Reihe verschiedener Plasmaparameter haben. In Wasserstoff-Niederdruckplasmen sind dabei zum einen Prozesse zu nennen, die einen Einfluss auf den Dissoziationsgrad molekularen Wasserstoffs aufweisen, wie beispielsweise die Reformation von H zu H2 und das Sticking atomaren Wasserstoffs an den Oberflächen. Darüber hinaus können Interaktionsprozesse mit diesen Oberflächen auch zu einer Vibrations- und Rotationsanregung bzw. -umbesetzung von Wasserstoffmolekülen führen.
In einem induktiv gekoppelten Wasserstoffplasma (13,56 MHz, 300 W) wird der Einfluss verschiedener Oberflächenmaterialien untersucht. Die Plasmaerzeugung erfolgt im Druckbereich von 1 bis 10 Pa mittels einer helikalen Spule um ein Zylindergefäß (Länge 20 cm, Durchmesser 5 cm). Verglichen wird der Einfluss verschiedener Entladungsgefäße aus den Materialien Quarzglas, Al2O3 und AlN u.a. bei Variation des Druckes. Die Plasmaparameter bzw. Rotationsbesetzungen werden dabei mit Hilfe der optischen Emissionsspektroskopie (OES) sowie Stoß-Strahlungsmodellierung bestimmt.