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P: Fachverband Plasmaphysik

P 25: Poster Session- Theory and Modelling

P 25.8: Poster

Donnerstag, 3. März 2016, 16:30–19:00, Empore Lichthof

Zum Einfluss der Elektronenstoßquerschnitte auf die Stoß-Strahlungs-Modellierung eines Ar-Niedertemperaturplasmas¹ — •Jochen Wauer, Jens Harhausen, Rüdiger Foest und Detlef Loffhagen — Leibniz Institut für Plasmaforschung und Technologie, Felix-Hausdorff-Strasse 2, 17489 Greifsweald

Zur Untersuchung von Niedertemperaturplasmen kann die optische Emissionsspektroskopie als etablierter Standard gelten. Neben der technischen Realisierung besteht eine hohe Anforderung an die Modellierung der aufgezeichneten Strahldichte- oder Emissionsdaten, um eine quantitative Interpretation zu ermöglichen. Die Beziehung zwischen optischen Daten und Plasmaparametern wird durch Stoß-Strahlungs-Modelle hergestellt. Hierfür werden u.a. Stoßquerschnitte für die Anregung von Neutralteilchen durch Elektronenstöße benötigt. Diese werden gegenwärtig durch quantenmechanische Berechnungen bestimmt oder aus Schwarmdaten abgeleitet. Vergleicht man Stoßquerschnitte für eine Reaktion aus verschiedenen Quellen, so können diese große Unterschiede aufweisen. Dieser Aspekt wird für einen konkreten Datensatz² aus einem Prozess zur plasmagestützten Deposition optischer Schichten (PIAD) untersucht. Dazu verwenden wir ein Stoß-Strahlungs-Modell mit 15 angeregten Ar-Niveaus und betrachten die Sensivität dieses Modells bezüglich der Elektron-Argon-Stoßquerschnitte aus verschiedenen Quellen.
¹Gefördert durch das BMBF unter dem Förderkennzeichen 13N13213
²J. Harhausen et al., J. Phys. D: Appl. Phys. 48 (2015) 045203