Hannover 2016 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 26: Poster Session-Plasma Diagnostics

P 26.16: Poster

Donnerstag, 3. März 2016, 16:30–19:00, Empore Lichthof

Bestimmung der Ionenzusammensetzung in einem Niederdruck-Niedertemperatur H₂-Plasma — •Dominikus Zielke¹, Stefan Briefi¹ und Ursel Fantz^1,2 — ¹AG Experimentelle Plasmaphysik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg — ²Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstr. 2, 85748 Garching

Ein wesentlicher Aspekt bei der Charakterisierung von Molekülplasmen ist die Kenntnis der quantitativen Ionenzusammensetzung. In H₂-Niederdruck-Niedertemperaturplasmen treten die positiven Ionenspezies H⁺, H₂⁺ und H₃⁺ auf. An einem induktiv gekoppelten HF-Plasma (Frequenz 2 MHz, maximale HF-Leistung 2 kW) mit planarer Spule werden mittels eines energieauflösenden Ionenmassenspektrometers die absoluten Dichten der jeweiligen Ionenspezies in Abhängigkeit von Druck (1 bis 10 Pa) und HF-Leistung gemessen. Die aus der relativen Zusammensetzung der Ionenspezies bestimmte effektive Ionenmasse wird als Eingangsparameter für die Auswertung von Langmuirsondenkennlinien mit den gängigen Ionentheorien verwendet. Anschließend werden die aus den verschiedenen Ionentheorien berechneten effektiven Ionendichten mit den Ergebnissen der massenspektrometrischen Messungen und mit der mittels Langmuirsonde bestimmten Elektronendichte verglichen.