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P: Fachverband Plasmaphysik

P 4: Plasma Technology

P 4.5: Vortrag

Montag, 29. Februar 2016, 16:05–16:20, b305

Vergleich eines numerischen und analytischen Modells zur Simulation der Modenausbreitung in einem Mikrowellenplasma — •Daniel Szeremley¹, Thomas Mussenbrock¹, Ralf Peter Brinkmann¹, Marc Zimmermanns², Ilona Rolfes² und Denis Eremin¹ — ¹Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, Germany — ²Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl Hochfrequenzsysteme, Germany

Auf Grund ihrer besonderen Eigenschaften sind Mikrowellenentladungen ein wichtiges Werkzeug für die Beschichtungstechnik. Insbesondere die Möglichkeit, durch eine zusätzliche Bias-Spannung Ionen Energieverteilungsfunktionen vor Substraten über einen großen Bereich nahezu frei einstellen zu können, macht diese Entladungen zu leistungsstarken Werkzeugen zur Abscheidung nanostrukturierter Funktionsschichten. Eine weitreichende Analyse der Moden und Ausbreitungseigenschaften elektromagnetischer Wellen in einem Plasma entlang einer Antenne ist von besonderem Interesse. Diese Informationen sind notwendig, um einen Plasmareaktor den Ansprüchen der jeweiligen Anwendung optimal anpassen zu können. In diesem Beitrag werden numerische Simulationsergebnisse einer Mikrowellenentladung entlang der Plasmaline mit einem analytischen Modell vergleichen. Im Mittelpunkt steht dabei die Charakterisierung der Moden, die sich entlang der Antenne ausbreiten k*onnen.