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P: Fachverband Plasmaphysik

P 27: Low Temperature Plasmas

P 27.1: Hauptvortrag

Donnerstag, 16. März 2017, 14:00–14:30, HS 2010

High Rate MW_PECVD of SiOx and ZnO protective coatings on polycarbonate — •Stefan Merli — IGVB Stuttgart