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SYPO: Symposium Plasma und Optische Technologien

SYPO 4: Plasma und Optische Technologien II

SYPO 4.2: Hauptvortrag

Mittwoch, 15. März 2017, 16:45–17:10, GW1 HS

Wiederholbarkeit optischer Konstanten von plasmagestützt abgeschiedenen Oxidschichten — •Olaf Stenzel^1,2 und Steffen Wilbrandt¹ — ¹Fraunhofer IOF Jena — ²Abbe Center of Photonics ACP, FSU Jena

Im Rahmen mehrerer Charakterisierungsstudien wurde untersucht, in welchem Maße optische Konstanten von plasmagestützt abgeschiedenen Oxidschichten stochastischen Schwankungen unterliegen. Hauptaugenmerk lag dabei auf der Brechzahl sowie der Bandkantenlage. Untersucht wurden Titanoxid-, Tantaloxid-, Aluminiumoxid und Siliziumoxidschichten, die von verschiedenen Einrichtungen präpariert worden waren. Als Präparationsverfahren kamen dabei sowohl das Plasma-Ionengestützte Elektronenstrahlverdampfen (PIAD), als auch Magnetron- bzw. Ionenstrahlsputtern zur Anwendung. Typische Standardabweichungen in der Brechzahl lagen dabei - je nach Material - im Bereich zwischen ca. 5e-4 und 1e-2. Der Beitrag beschäftigt sich ausführlich mit der Methodik von Charakterisierungsexperiment und Datenauswertung. Repräsentative Ergebnisse hinsichtlich Mittelwert und Standardabweichung erzielter optischer Charakteristika werden aufgezeigt und diskutiert.