Mainz 2017 – scientific programme
Parts | Days | Selection | Search | Updates | Downloads | Help
Q: Fachverband Quantenoptik und Photonik
Q 31: Poster: Quantum Optics and Photonics I
Q 31.83: Poster
Tuesday, March 7, 2017, 17:00–19:00, P OG1+2
Selektives Ätzen fs-lasergeschriebener 3D-Mikrostrukturen in kristallinem Y3Al5O12 — •Kore Hasse1,2, Christian Kränkel1,2 und Thomas Calmano1,2 — 1Institut für Laser-Physik, Universität Hamburg — 2The Hamburg Centre for Ultrafast Imaging, Universität Hamburg
Mittels fs-Laserstrukturierung ist es möglich 3D-Materialmodifikationen in der Größenordnung von wenigen µm in transparenten dielektrischen Materialien zu erzeugen. Zudem ist die Ätzrate fs-lasermodifizierter kristalliner Materialien wie Y3Al5O12 (YAG) in Phosphorsäure deutlich höher als diejenige des unstrukturierten Materials. Daher können durch fs-Laserstrukturierung und nachfolgendes Ätzen Mikrokanäle in Kristallen wie YAG hergestellt werden, die in mikrofluidischen und optischen Systemen Anwendung finden können. Wir berichten über die Ergebnisse einer systematischen Untersuchung der Ätztiefe in Abhängigkeit von der Ätzdauer in H3PO4 (85%) von fs-lasergeschriebenen Einzelspuren in [111] orientiertem YAG. Dabei wurden sowohl der Einfluss der Strukturierungsparameter, wie auch derjenige der Temperatur der Säure untersucht. Mit durchschnittlichen Ätzraten von bis zu 2,6 µm/h konnten mehr als 4 mm lange Mikrokanäle mit einem Aspektverhältnis (Länge zu Durchmesser) von bis zu 400 geätzt werden.