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P: Fachverband Plasmaphysik

P 20: Plasma Wall Interaction II - Poster

P 20.4: Poster

Mittwoch, 7. März 2018, 16:15–18:15, Zelt West

Aufbau eines Gegenfeldanalysators zur Untersuchung der Plasma-Wand-Wechselwirkung in HF-Plasmen — •Felix Georg, Thomas Trottenberg und Holger Kersten — Institut für experimentelle und angewandte Physik (IEAP), Uni Kiel, Deutschland

Für die Untersuchung der Plasma-Wand-Wechselwirkung in kapazitiv gekoppelten HF-Plasmen wurde ein Gegenfeldanalysator (RFA) entwickelt, welcher, neben der Möglichkeit verschiedene Materialien als Kollektor-Material zu verwenden, auch in Verbindung mit einer passiven Thermosonde (PTP) verwendet werden kann. Der Aufbau des RFA ist so gewählt, dass der Kollektor unabhängig von den anderen Gittern (Screen Grid, Scan Grid und Sekundär-Elektron-Repeller) ausgetauscht werden kann. Dadurch kann der direkte Einfluss (z.B. Sekundär-Elektronen-Emission) verschiedener Materialien auf die Randschicht im Plasma untersucht werden, indem das Kollektor-Material an das als Elektrode im Plasma verwendete Material angepasst wird. Schließt man zusätzlich ein Thermoelement an den Kollektor an, kann neben der Ionenenergieverteilung auch der Energieeintrag der einfallenden Ionen auf das Material bestimmt werden. Der verwendete Aufbau lässt zusätzlich eine Untersuchung der Plasmaparameter mittels Langmuirsonden-Diagnostik zu und bietet die Möglichkeit sowohl den RFA, als auch eine einzelne PTP in die Gegenelektrode einzubauen.