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GP: Fachverband Geschichte der Physik

GP 12: Technological development of tools of physics

GP 12.3: Vortrag

Mittwoch, 20. März 2019, 17:30–18:00, HS 9

Verschieben der optischen Auflösungsgrenze in der Halbleitertechnologie - eine Erfolgsgeschichte der Carl Zeiss SMT — •Martin Espig — Carl Zeiss SMT, Oberkochen, Deutschland

Die Namen des Unternehmers Carl Zeiss und des Physikers Ernst Abbe stehen jeher stellvertretend für höchste Präzision optischer Systeme. Die Carl Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology (Zeiss SMT) stellt weltweit die Sperrspitze in der Produktion für Ausrüstungen in der Mikrochipherstellung dar. Dieser Beitrag gibt einen kurzen Abriss über den historischen Beitrag der Zeiss SMT zur Umsetzung des Moore'schen Gesetzes und stellt ihr einzigartiges Maschinenportfolio vor, mit dem Zeiss die optische Auflösungsgrenze stetig weiter verbessert und entscheidend zum Technologiesprung mit ihren EUV-Lithographie-Optiken beiträgt.