Dresden 2020 – wissenschaftliches Programm
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DS: Fachverband Dünne Schichten
DS 6: Thin Film Applications II
DS 6.1: Vortrag
Montag, 16. März 2020, 10:45–11:00, CHE 91
Konforme Einbettung hocheffizienter Spektrometergitter mittels Atomlagenabscheidung — •Kristin Pfeiffer1, Vivek Beladiya1,2, Torsten Harzendorf1, Thomas Flügel-Paul1, Dirk Michaelis1 und Adriana Szeghalmi1,2 — 1Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik, Albert-Einstein-Str. 7, 07745 Jena — 2Friedrich-Schiller-Universität Jena, Institut für Angewandte Physik, Albert-Einstein-Str. 15, 07745 Jena
Hocheffiziente Beugungsgitter, welche als dispersive Kernkomponenten in Spektrometern zum Einsatz kommen, stellen höchste Anforderungen an die Empfindlichkeit und Auflösung der optischen Gitter. Im vorliegenden Fall wird ein Spektrometergitter für das SWIR2-Band untersucht. Die wesentliche Herausforderung liegt hierbei in einer nahezu polarisationsunabhängigen Beugungseffizienz von mehr als 80 %.
Das betrachtete optische Design kombiniert ein Grundgitter aus Kieselglas (SiO2) mit einer hochbrechenden Einbettung aus TiO2. Das TiO2-Material wird hierzu konform mittels plasmagestützter Atomlagenabscheidung (PEALD) aufgebracht. Der PEALD-Prozess ist ein zentraler Aspekt in der Realisierung des Spektrometergitters, da sowohl die optische Qualität als auch die Konformität des eingebetteten Materials einen wesentlichen Einfluss auf die optische Effizienz des Gitters haben. Im Tagungsbeitrag wird im Speziellen der Einfluss der PEALD-Prozessparameter auf die Einbettung des Gitters und dessen Transmissionseffizienz für TM- bzw. TE-polarisiertes Licht betrachtet.