Mainz 2022 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 1: Invited talks I

Montag, 28. März 2022, 11:00–12:30, P-H11

	11:00	P 1.1	Hauptvortrag: Plasma Physics in EUV Lithography — •Iris Pilch
	11:30	P 1.2	Hauptvortrag: Optical emission spectroscopy of spokes in magnetron sputtering discharges — •Julian Held, Philipp A Maaß, Volker Schulz-von der Gathen, and Achim von Keudell
	12:00	P 1.3	Hauptvortrag: Surface modification of inorganic materials by atmospheric-pressure plasmas — •Claus-Peter Klages and Vitaly Raev