Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Aktualisierungen | Downloads | Hilfe
P: Fachverband Plasmaphysik
P 1: Invited talks I
Montag, 28. März 2022, 11:00–12:30, P-H11
 |
11:00 | P 1.1 | Hauptvortrag: Plasma Physics in EUV Lithography — •Iris Pilch |
|
11:30 | P 1.2 | Hauptvortrag: Optical emission spectroscopy of spokes in magnetron sputtering discharges — •Julian Held, Philipp A Maaß, Volker Schulz-von der Gathen, and Achim von Keudell |
|
12:00 | P 1.3 | Hauptvortrag: Surface modification of inorganic materials by atmospheric-pressure plasmas — •Claus-Peter Klages and Vitaly Raev |