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P: Plasmaphysik

P 14: Postersitzung II

P 14.25: Poster

Dienstag, 4. März 1997, 18:00–20:00, Foyer

3D-Strahl-Diagnostik einer kapazitiv gekoppelten HF-Ionenquelle — •M. Friedrichs, H.M. Keller, D. Korzec und J. Engemann — Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik – fmt, Obere Lichtenplatzer Str. 336, D-42287 Wuppertal

Die untersuchte kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle (HFQ 1303) [1] mit zylindersymmetrischer HF-Anregung und niederenergetischem Extraktionssystem wird für unterschiedliche Prozesse additiver und subtraktiver Art eingesetzt. Bei solchen Anwendungen wird ein homogener meist niederenergetischer Ionenstrahl benötigt. Mit Hilfe eines frei beweglichen Faraday-Cups bzw. eines Retarding Field Analysers wurden hochaufgelöste 3D-Strahlprofile der Ionen- und Elektronenstromdichte aufgenommen.
Diese Ergebnisse erlauben Aussagen über die Homogenität, die Strahldivergenz und die Langzeitstabilität der Quelle und können zu Verbesserungen der Strahleigenschaften durch Quellen- oder Extraktionsoptikänderungen führen. Untersucht wurde die Auswirkung von Extraktionsoptikdefekten, dejustierten Optiken und die verstärkt bei niedrigen Extraktionsenergien gleichzeitig mit den Ionen extrahierten Elektronen und deren Reduzierung. Dieser Effekt wurde bereits zuvor anhand von 1D-Messungen untersucht, die vorgestellten 3D-Profile führen jedoch zu abweichenden Resultaten.

[1] D. Korzec, Fortschrittberichte VDI, Reihe 9: Elektronik, Nr. 160, VDI Verlag, ISBN 3-18-146009-5, Düsseldorf