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HL: Halbleiterphysik

HL 15: STM

HL 15.5: Talk

Tuesday, March 18, 1997, 11:30–11:45, H3

Optische Nahfeldspektroskopie an niedrigdimensionalen Halbleiterstrukturen — •A. Deisenrieder, C. Obermüller, K. Karrai, W. Wegscheider, M. Bichler und G. Abstreiter — Walter Schottky Institut der TU München, Am Coulombwall, D-85748-Garching

Optische Spektroskopie ist eine der wichtigsten Methoden um niedrigdimensionale Halbleitersysteme zu untersuchen. Die fortschreitende Miniaturisierung bis zur Nanometerskala macht eine Verbesserung der beugungsbegrenzten Ortsauflösung notwendig. Optische Nahfeldsonden liefern ein Auflösungsvermögen bis unter hundert Nanometer. Darüber hinaus ist es für spektroskopische Untersuchungen von Halbleitern meist notwendig, die Proben in einer Tieftemperturumgebung zu messen.
Zu diesem Zweck haben wir ein optisches Nahfeldmikroskop für tiefe Temperaturen entwickelt. Wir stellen das Konzept, die technische Umsetzung und Meßergebnisse vor. Niedrigdimensionale GaAs/AlGaAs Quantenstrukturen wurden bei 4.2 K untersucht. Photolumineszenz wurde sowohl räumlich getrennt als auch spektral aufgelöst gemessen.