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Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 37: Devices (elektrisch)

Freitag, 21. März 1997, 11:00–13:30, H3

11:00 HL 37.1 Modellierung mikrofluidischer Systeme — •M. Richter, J. Mellmann, P. Voigt und G. Wachutka
11:15 HL 37.2 Epitaktisch gewachsene Silizium Spitzen als Feldemitter — •H. Geiger, F. Kaesen, H. Baumgärtner und I. Eisele
11:30 HL 37.3 Elektrothermische Simulation von Leistungsbauelementen:
Modellvalidierung durch Interne Laserdeflektion
— •R. Thalhammer, G. Deboy und G. Wachutka
11:45 HL 37.4 Simulation vertikaler Si-MOSFETs auf der Basis selektiver Epitaxie — •D. Klaes, M. Grimm, J. Moers, L. Vescan, M. Marso, P. Kordoš und H. Lüth
12:00 HL 37.5 Kontrolle innerer Spannungen in Polysiliziumschichten durch Dotierung und Kornwachstum für die Integration mikromechanischer Sensoren — •K. Röschlau, U. Näher, C. Hierold, T. Scheiter, K. Oppermann, H. Kapels und H. v.Philipsborn
12:15 HL 37.6 Simulation von vertikalen Kurzkanal-MOSFETs — •M. Kittler, H. Förster, D. Nuernbergk, F. Schwierz und G. Paasch
12:30 HL 37.7 Rauscheigenschaften von In-Plane-Gate-Transistoren im Bereich niedriger Frequenzen — •P. Stelmaszyk, J. Koch, and A.D. Wieck
12:45 HL 37.8 Akustoelektrische Wechselwirkungen in Halbleiter/Piezoelektrikum Hybridstrukturen — •M. Rotter, A. Wixforth und J.P. Kotthaus
13:00 HL 37.9 Einfluß von Potentialbarrieren auf den ganzzahligen Quanten-Halleffekt — •F. Gagel and K. Maschke
13:15 HL 37.10 Elementverteilungsbilder vergrabener Oxidschichten von silicon-on-insulator Strukturen — •C. Hülk, E. Schroer und H. Kohl
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