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TT: Tiefe Temperaturen

TT 6: Postersitzung I: Mesoskopie(1-21), amorphe Metalle und Defektsysteme(22-29), Kryotechnik, Kernmagnetismus(30-37), festes N₂(38), Quantenflüssigkeiten und -kristalle(39-48), dünne supraleitende Filme(49-68), schwere Fermionen und Kondosysteme(69-92), Fullerene(93-94)

TT 6.51: Poster

Dienstag, 18. März 1997, 09:30–13:00, Z1

Untersuchung des Temperatureinflusses auf Sputtern und gepulste Bogenentladung an YBCO-Targets — •S. Sievers, A. Usoskin und H.C. Freyhardt — Zentrum für Funktionswerkstoffe, Windausweg 2, D-37073 Göttingen

Ziel der Untersuchungen ist die Charakterisierung von Einflüssen des Abkühlens eines HTS-leitenden keramischen YBCO-Targets auf Temperaturen bis unterhalb von T_c auf die Parameter der Gasentladungen, insbesondere in Hinsicht auf eine Anwendung zur Filmdeposition. Hierzu wurde eine spezielle Zelle entwickelt, die durch LN₂ - bzw. Wasserkühlung eine Targettemperatur von RT bzw. 77 K ermöglicht. Eine geeignete Wahl der Kathodenform und des Sauerstoffpartialdruckes erlauben, einen Sputterbetrieb bzw. alternativ eine Bogenentladung einzustellen. Letztere erfolgt mit einer Ringkathode und wird durch Sauerstoffpulse getriggert. Durch zusätzliche Strahlungsheizung kann die Targetoberflächentemperatur um T_c variiert werden.
Die gepulste Bogenentladung zeigte bei geeigneter Formgebung des Plasmas durch räumliche Begrenzung des Entladungsbereiches eine aus der Ringkathode austretende Plasmakeule, die der bei der Laserablation auftretenden vergleichbar ist und die sich zur Filmdeposition heranziehen läßt. Bei Stickstoffkühlung zeigte sich eine anwendungsrelevante Erhöhung der Stromdichte und der Targetlebensdauer sowie eine Stabilisierung der Prozesse über lange Zeiten.