Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 17: Plasma-Wand-Wechselwirkung I

P 17.4: Vortrag

Mittwoch, 11. März 1998, 17:00–17:15, H 14

Automatisierte Konzentrationstiefenprofilgewinnung aus
Rutherford-Rückstreuspektren — •U. v. Toussaint, K. Krieger, R. Fischer und V. Dose — Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstr. 2, D-85748 Garching

Die Ermittlung der tiefenaufgelösten Zusammensetzung einer Materialprobe aus einem gemessenen Rutherford-Rückstreuspektrum ist ein schlecht konditioniertes Problem. Bei einer least-square-Anpassung werden in den meisten Fällen aufgrund der beliebig wählbaren Zahl von Freiheitsgraden entweder die zur Verfügung stehenden Daten nicht vollständig ausgenutzt, oder es kommt zu einem Oszillieren der errechneten Konzentrationsprofile. Durch die Verwendung der Bayesschen Wahrscheinlichkeitstheorie existiert nun ein Verfahren, das einen konsistenten Umgang mit dem inversen Problem der Tiefenprofilgewinnung aus einem RBS-Spektrum erlaubt.
Die Möglichkeiten des Verfahrens werden anhand der Analyse von Schichtproben, die bei einem Erosionsexperiment am Tokamak ’ASDEX-Upgrade’ eingesetzt wurden, aufgezeigt.