Konstanz 1998 – scientific programme
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Q: Quantenoptik
Q 19: Poster Ib: Atomoptik
Q 19.6: Poster
Tuesday, March 17, 1998, 16:00–18:00, PF
Nanolithographie mit einem Cäsiumatomstrahl — •F. Lison1, H.-J. Adams1, D. Haubrich1, F. Lison1, S. Nowack2 und D. Meschede1 — 1Institut für Angewandte Physik, Universität Bonn, Wegelerstr. 8, 53115 Bonn — 2Fakultät für Physik, Universitätsstr. 10, Universität Konstanz, D-78434 Konstanz
Wir berichten über Experimente zur Lithographie mit einem transversal lasergekühlten thermischen Cäsium-Atomstrahl. Eine optische Stehwelle unmittelbar vor einem goldbeschichteten Substrat dient als Zylinderlinsenfeld und fokussiert die durchfliegenden Cäsiumatome in Linien mit einem Abstand von λ/2 = 426 nm. Eine auf das Gold aufgebrachte selbst-anordnende molekulare Monolage (Self Assembling Monolayer) aus Nonanthiol (CH3(CH2)8SH) dient als Resist. An den belichteten Stellen kann während des nachfolgenden chemischen Ätzprozesses die Goldschicht entfernt werden. Die Linienbreite der erzeugten Gräben wurde anhand von AFM-Aufnahmen bestimmt und ist kleiner als 100 nm. Eine numerische Simulation der atomaren Trajektorien gibt Aufschluß über den Einfluß von transversaler und longitudinaler Geschwindigkeitsverteilung der Atome, sowie Verstimmung und Intensität der optischen Stehwelle auf die minimal zu erwartende Linienbreite.
(Gefördert durch das BMBF, FKZ 13N6636).