Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 12: Plasma- und Ionentechniken

Dienstag, 24. März 1998, 11:15–12:15, H 34

	11:15	DS 12.1	Fachvortrag: In-situ-plasmadiagnostische Charakterisierung der c-BN Ab- scheidung mittels Magnetronzerstäubung — •Thomas Welzel, Rainer Pintaske, Jens Hahn, Siegfried Peter und Frank Richter
	11:30	DS 12.2	Fachvortrag: Synthese von Siliziumoxid-Schichten durch Plasma-Immersions- Ionen-Implantation — •I. Großhans, K. Volz, W. Ensinger, B. Rauschenbach und W. Assmann
	11:45	DS 12.3	Fachvortrag: Ausheilen von Strahlenschäden durch Ionenbestrahlung in U3Si2. — •Petra Meier und S. Klaumünzer
	12:00	DS 12.4	Fachvortrag: Charakterisierung von carboxylhaltigen Plasmapolymerschichten — •H. Nedelmann, Th. Weigel, J. Müller und D. Paul