Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 20: Elektrische Eigenschaften

DS 20.4: Fachvortrag

Donnerstag, 26. März 1998, 16:00–16:15, H 31

Messung der ferroelektrischen Eigenschaften von PZT-Dünnschichten auf YBCO/STO und Einfluß des Elektrodenmaterials — •M. Hanika, B. Wörz, R. Klarmann, K. Volz, W. Biegel und B. Stritzker — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86135 Augsburg

Mit dem Verfahren der gepulsten Laserablation (PLD) wurden
Pb(Zr_0,52, Ti_0,48)O₃ (PZT)-Schichten zwischen verschiedenen Elektrodenmaterialien hergestellt und bezüglich ihrer ferroelektrischen Eigenschaften mit verschiedenen (P(E)-Hysterese, Retain, Fatigue), zum Teil neuartigen Meßmethoden charakterisiert. Ein Zusammenhang zwischen Elektrodenmaterial (supraleitendes YBa₂Cu₃O_7−x, Au, Pt) und ferroelektrischen Eigenschaften wird diskutiert. Im Unterschied zu den anderen Elektrodenmaterialien konnte durch die Verwendung von supraleitendem YBCO eine (h00) Vorzugsorientierung der PZT Schichten festgestellt werden, wobei die Perowskitphase gegenüber der Pyrochlorphase bevorzugt gebildet wurde. Ebenso konnte eine Vergrößerung des Temperaturfensters für optimale Wachstumsbedingungen auf ca. 150 ^∘C beobachtet werden.