Regensburg 1998 – scientific programme
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DS: Dünne Schichten
DS 20: Elektrische Eigenschaften
DS 20.4: Fachvortrag
Thursday, March 26, 1998, 16:00–16:15, H 31
Messung der ferroelektrischen Eigenschaften von PZT-Dünnschichten auf YBCO/STO und Einfluß des Elektrodenmaterials — •M. Hanika, B. Wörz, R. Klarmann, K. Volz, W. Biegel und B. Stritzker — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86135 Augsburg
Mit dem Verfahren der gepulsten Laserablation (PLD) wurden
Pb(Zr0,52,
Ti0,48)O3 (PZT)-Schichten zwischen verschiedenen Elektrodenmaterialien hergestellt und bezüglich
ihrer ferroelektrischen Eigenschaften
mit verschiedenen (P(E)-Hysterese, Retain, Fatigue), zum Teil neuartigen Meßmethoden charakterisiert.
Ein Zusammenhang zwischen Elektrodenmaterial (supraleitendes YBa2Cu3O7−x, Au, Pt) und
ferroelektrischen Eigenschaften wird diskutiert. Im Unterschied zu den anderen Elektrodenmaterialien konnte
durch die Verwendung von supraleitendem YBCO eine (h00) Vorzugsorientierung der PZT Schichten festgestellt
werden, wobei die Perowskitphase gegenüber der Pyrochlorphase bevorzugt gebildet wurde. Ebenso konnte eine
Vergrößerung des Temperaturfensters für optimale Wachstumsbedingungen auf ca. 150 ∘C beobachtet
werden.