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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung

DS 24.21: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:00–19:00, PF A

Analyse von heteroepitaktischen Diamantschichten mit nuklearen Methoden — •C. Haug, J. Portmann und R. Brenn — Fakultät für Physik, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau, Hermann-Herder-Str. 4, D-79104 Freiburg

Ionenchanneling ist eine erfolgreiche Methode zur Charakterisierung von Defekten in kristallinen Materialien. So lassen sich Struktur und Morphologie heteroepitaktischer Diamantfilme ähnlich bestimmen wie bei polykristallinen Proben[1]. Wichtig dabei ist, daß die Halbwertsbreite der Orientierungsverteilung der Hauptwachstumsrichtung dieser Schichten nur wenige Grad beträgt. Bei der Heteroepitaxie von Diamant auf Fremdsubstraten wie Silizium oder Siliziumcarbid besteht ein Zusammenhang zwischen dieser Fehlorientierung und der Nukleationsphase. Channeling-Analysen an solchen Proben sollten deshalb Rückschlüsse auf die Grenzfläche zwischen Substrat und Probenschicht zulassen.
Mit Hilfe von Channeling-Messungen werden heteroepitaktische Diamantschichten, die von verschiedenen Gruppen hergestellt wurden, untersucht. Alle Proben wurden dabei mit Hilfe eines Bekeimungsschrittes auf verschiedenen Substraten per Mikrowellengasphasenepitaxie (CVD) abgeschieden. Von besonderem Interesse ist dabei das Interface zwischen Substrat und gewachsener Schicht, das bei der Nukleationsphase entsteht. (Gefördert durch die DFG, Schwerpunkt „Synthese superharter Materialien“  im Rahmen des trinationalen D-A-CH Verbundes).
R. Samlenski und R. Brenn, Nucl. Inst. Meth. B86, 1994, p. 339