Regensburg 1998 – scientific programme
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DS: Dünne Schichten
DS 24: Postersitzung
DS 24.46: Poster
Thursday, March 26, 1998, 15:00–19:00, PF A
Optische Streifenwellenleiter in einkristallinen BaTiO3–Schichten für elektrooptische Modulation — •A. Eckau, L. Beckers, J. Schubert, W. Zander und Ch. Buchal — Institut für Schicht– und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich, 52425 Jülich
Einkristalline BaTiO3–Schichten sind ein Kandidat für die Herstellung eines elektrooptischen Modulators in Dünnschichttechnologie. Grundvoraussetzung sind Streifenwellenleiter in Schichten guter optischer Qualität. Wir haben mittels Laserablation einkristalline doppelbrechende BaTiO3–Schichten auf MgO hergestellt. Die Charakterisierung der Schichten erfolgte mit Rutherford Rückstreuung/Channeling (RBS/C), Röntgenbeugung (XRD), Mikroskopie und optischer Charakterisierung (Prismenkopplung). In diese Schichten wurden optische Streifenwellenleiter mit Photolithographie und Ionenstrahlätzen (IBE) strukturiert. Die Überprüfung der Struktur erfolgte mit optischer Mikroskopie und Rasterelektronenmikroskopie (SEM), der Test des Wellenleiters über Stirnflächeneinkopplung.