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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung

DS 24.46: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:00–19:00, PF A

Optische Streifenwellenleiter in einkristallinen BaTiO₃–Schichten für elektrooptische Modulation — •A. Eckau, L. Beckers, J. Schubert, W. Zander und Ch. Buchal — Institut für Schicht– und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich, 52425 Jülich

Einkristalline BaTiO₃–Schichten sind ein Kandidat für die Herstellung eines elektrooptischen Modulators in Dünnschichttechnologie. Grundvoraussetzung sind Streifenwellenleiter in Schichten guter optischer Qualität. Wir haben mittels Laserablation einkristalline doppelbrechende BaTiO₃–Schichten auf MgO hergestellt. Die Charakterisierung der Schichten erfolgte mit Rutherford Rückstreuung/Channeling (RBS/C), Röntgenbeugung (XRD), Mikroskopie und optischer Charakterisierung (Prismenkopplung). In diese Schichten wurden optische Streifenwellenleiter mit Photolithographie und Ionenstrahlätzen (IBE) strukturiert. Die Überprüfung der Struktur erfolgte mit optischer Mikroskopie und Rasterelektronenmikroskopie (SEM), der Test des Wellenleiters über Stirnflächeneinkopplung.